【华为τ定律EDA及半导体材料影响点评】国金电子
💡EDA方面:逻辑堆叠对布局布线及多物理场仿真等点工具提出了较高要求。上市公司中,华大九天 提供了3DIC设计验证全流程平台,3DIC物理验证平台支持2.5D/3D异构集成封装设计,并引进了电磁场仿真技术。概伦电子 通过投资鸿芯微纳切入3DIC布局布线工具,近期市场预期ip并购渐进。
💡材料方面:逻辑堆叠主要利好和先进封装相关材料,对TSV(硅通孔)工艺提出了更高的深宽比、更小的线宽和更严格的均匀性要求。
另外随着先进制程的演进,工艺步骤变多&材料本身会发生变化(比如铜到钴),主要利好:
1)CMP抛光(每层材料平坦化要求变高):鼎龙股份 (抛光垫龙头、TSV抛光液),安集科技 (抛光液龙头、TSV抛光液);
2)TSV电镀:上海新阳 (铜电镀龙头),艾森股份 (铜电镀添加剂、钴电镀基液)
3)TSV光刻胶:艾森股份 (主供长鑫)
4)临时键合材料(防止超薄晶圆破碎翘曲):鼎龙股份, 飞凯材料 ,目前国产化国产化率较低。
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