德龙激光:3D堆叠封装多环节深度受益,重视又一个激光平台型企业!
[礼物]华为τ定律实现突破摩尔定律和高精度光刻封锁的核心在于3D堆叠,而3D堆叠的工艺核心增量主要有超薄晶圆处理(各层级堆叠晶圆需要更薄且无损切割)、硅通孔TSV(需要刻蚀高深宽比的垂直通孔)、高精度键合/解键合(各层器件键合及解除键合)等。相比传统封装,堆叠工艺对精度、均匀性的要求显著提升,而激光设备凭借高精度、高一致性的工艺特性,将在先进封装中具备极强弹性。而德龙激光在相关增量环节都有卡位布局——
1、超薄晶圆处理/激光切割:唯一国产替代
超薄晶圆是堆叠封装的刚需,Disco、东京精密长期垄断高端隐切市场(市占率70%+),德龙激光推出自主研发的硅晶圆激光隐切设备,实现厚度35~85μm 的超薄晶圆隐切与减薄前加工,已进入CX等头部供应链并获订单,是唯一量产级国产替代。下一代飞秒激光开槽设备开发中,将进一步适配<20μm的超薄晶圆。
2、硅通孔TSV/玻璃基板TGV:已进入3D堆叠产线
好比PCB多层板需要高长径比钻针,堆叠技术层数增加对硅/玻璃基板通孔要求也上了新的台阶。德龙TGV玻璃基板通孔设备兼顾高精度+高深宽比,利用激光诱导进行微孔加工50-200μm下深宽比可达10:1,良率99.5%以上。主力设备AW620已进入中芯先进封装产线,用于3D堆叠IC玻璃基板加工,2025 年订单过亿。
3、激光解键合设备:开始出货封测厂
堆叠处理需要针对临时键合Glass与Wafer的解键剥离,解键合设备同样是刚需,且精度要求更好(不能损伤已完成工艺部分)。激光解键合设备特点是使用非接触式激光剥离临时键合胶,无机械应力、无晶圆损伤,保证了更高良率。该市场由海外EVG、SUSS占据,国内企业多做键合而非解键合。德龙激光解键合设备2025年完成研发,通过长电、通富工艺验证并已小批量出货。
公司锚定先进封装大赛道, 2025年先进封装业务占比已达50%以上,2026年业务增速有望翻倍增长。另外,德龙激光持续布局固态电池极片制痕绝缘与超快激光纸片设备、以及碳化硅晶圆切割设备、光通信行业客户提供激光切割焊接、耦合及AOI 检测类设备,成长赛道广阔。
[礼物]前有大族激光、帝尔让市场逐步认识到激光工艺在高精密加工中的平台型价值,因此更需要重视100亿不到的激光小而美公司!
