❗【天风电新】玻璃基板:聚焦技术变化,看好通胀的设备、材料-0629
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相较有机基板,玻璃基板的变化主要有:
1)高深宽比打孔。有机载板的深宽比要求不高,一般采用机械钻孔。玻璃基板要做到高深宽比,需引入。有机载板一般采用化学镀Cu做种子层,玻璃基板则需用。
2)RDL层数提升。台积电CoWoS-S的Si Interposer,一般用到4~6层RDL。群创的玻璃基板则采用10M10P RDL,Intel的Glass Core EMIB基板采用上下各10层RDL方案。(光敏聚酰亚胺),而。
因此受益的设备是激光、PVD,材料是PSPI。激光市场已经有充分认知,主要更新PVD和PSPI:
1) ,约占40%。玻璃通孔和RDL布线两道工艺均需要用到PVD溅射Cu种子层。玻璃通孔内壁种子层溅射难度更高,PVD价值量4000~5000万/台;RDL上的种子层PVD设备价值量2000~3000万/台。且通孔深宽比越大、RDL层数越多,PVD设备价值量越高。
2) PSPI是HBM、CoWoS工艺的核心材料,在玻璃基板中用量直接与RDL层数直接挂钩。25年全球PSPI市场规模预计在40~50亿元,,远期市场空间有望达200亿。PSPI供应基本被日美供应商垄断。5月旭化成宣布收紧其PIMEL系列PSP供应,优先保障台积电等大客户供应,从而削减其他厂商订单。因此。
1)汇成真空:PVD设备已经可实现20um、15:1深宽比通孔,相关技术已广泛面向先进封装、玻璃基板、Chiplet、HBM、硅光芯片及CPO等应用场景开展验证。
2)天承科技:TGV药水单线价值量是PCB的几十倍,成本端差异不大,利润空间大幅通胀,且是京东方唯二供应商(另一家是海外),并有望切入台、韩供应链。
3)艾森股份:低温PSPI作为RDL绝缘层、TSV侧壁钝化与填充、晶圆级封装(WLP)中的钝化层、缓冲层和保护膜,已经取得头部客户小批量订单。
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