🧧中韩台半导体扩产潮来袭！上周五半导体零部件大涨！当下半导体零部件怎么看？
，上游零部件卡位设备扩产！优先国产化率低位环节！
部分机械与结构件（国产化率 > 10%），代表零部件：边缘环、石英件、喷淋头等。
（国产化率 5% – 10%）：代表零部件：射频电源、机械手、EFEM（设备前端模块）、气体流量计（MFC）等
（ 国产化率 1% – 5%）：代表零部件：射频电源、机械手、EFEM（设备前端模块）、气体流量计（MFC）等。
（国产化率 < 1%）：代表零部件：静电卡盘（ESC）、O形密封圈、精密测量仪器等。