迈为先进制程加速导入钼金属,公司钼刻蚀&薄膜设备将加速放量【东吴机械】

事件:自三星2024年在其286层NAND导入钼金属后,SK海力士近期已完成375层3DNAND闪存的生产验证工作,将使用钼材料替代传统钨材料制作字线。

先进制程下钼材料电阻更低,更适合布线。过去布线主要依赖钨(W),然而当制程工艺进入到纳米级别的深亚微米时代,尤其逻辑GAA、NAND2xx层+结构下,钨电阻较高的劣势凸显出来,电阻的微小增加都会导致信号传输过程中的能量损耗显著上升,影响芯片的运行速度和能效表现,此时钼(Mo)在沟槽填充和电阻两方面展现出了极为优秀的综合性能:(1)能够以精准、均匀的方式填充到极细微的沟槽结构中,(2)在厚度小于10纳米的薄膜中钼的电阻相较于钨明显更低,能够提升传输速度、降低了信号延迟、减少功率损耗。

公司先发布局钼刻蚀&薄膜设备,订单&营收加速放量。
(1)前道设备:2026年新签订单预计20亿+,钼高选择比刻蚀、钼ALD设备获多个头部客户批量订单;(2)后道设备:2026年新签订单预计15-20亿,切磨抛+键合设备布局全;(3)其它:CPO设备方面公司还布局了激光划片+键合设备、已经和头部客户取得合作,IC载板和PCB的激光钻孔设备26年订单预计0.8亿元。

【东吴机械】周尔双/李文意/谈沂鑫

作者 AI财经

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