芯片制造工具巨头正纷纷进军面板级封装领域,其中拉姆研究公司成为行动迅速的先行者。其 Kallisto 电镀系统支持 600mm 面板,据称日本的 Rapidus 正在利用该系统制造方形玻璃中介层。 文章导航 文件帖 2026-05-26 22:36 陈果: