❗❗【中船特气|6】半导体3D化、高深宽比化、垂直化趋势拉动六氟化钨需求,重视中船特气!
🚀🚀重视存储大周期。海力士宣布未来五年内存产能翻倍(容量增速更大),英伟达推出AI PC,存储边界继续扩大!外围股市存储标的不断创新高,过去两周三星(+33%)、美光(+43%)、闪迪(+32%)、铠侠(+74%),六氟化钨作为存储最有弹性的环节,
🌹核心观点:六氟化钨(WF₆)是半导体制造中沉积钨(W)的核心前驱体,主要用于CVD/W-CVD工艺,广泛应用于接触孔(Contact Plug)、通孔(Via)、部分DRAM字线及各类高深宽比结构填充。钨作为最成熟的深孔金属填充材料,,WF₆需求均会持续增长!
下游多种趋势利于六氟化钨放量——
🌹NAND:1)3D NAND持续向300+层演进,层数提升将带动WF₆单片消耗量结构性增长;
2)String stacking(双stack、三stack)趋势下,通道连接、接触形成及高深宽比钨填充步骤增加;
3)HBF较普通NAND拥有更多stack、垂直互连及高AR结构,进一步强化NAND高层化与3D化趋势,消耗更多钨。
🌹DRAM:1)DRAM capacitor持续深孔化,高深宽比结构加工难度提升,带动接触孔、字线等钨相关沉积需求增加;
2)DDR5/HBM推动TSV及先进封装互连需求增长,增加高深宽比金属沉积相关工艺步骤。
🌹逻辑芯片:1)GAA/nanosheet时代接触结构复杂化,contact数量及沉积循环增加,推动WF₆用量提升;
2)先进节点BEOL RC delay恶化,局部钨互连应用增加,提升单颗芯片中的钨相关结构占比。
