📋 主要技术混合键合,背面贴合。 逻辑折叠过去研发中的几大难点(目前全部实现): W2W晶圆级键合,晶圆平整度需要纳米级的 小尺寸,一次性成型tsv,需要刻蚀难度非常难。工艺难度很大,依赖超频无损的减薄。晶圆波动需要控制到非常小。 采用低温堆叠技术,tsv应力也需要考虑(需要在设计上预留koz,影响面积


  • 减小芯片尺寸可实现更高的单片良率,总体达到与二维相比的总体良率
  • 优化的3D堆叠工艺引入了可忽略的良率损失
  • 通过系统化设计实现进一步的良率提升

作者 AI财经

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